六氟化硫气体厂家

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六氟化硫气体价格

高纯六氟化硫在电子产业中可用作蚀刻气体、清洗气体等。作为蚀刻气体,高纯六氟化硫气体供应可用于芯片、液晶显示等大规模集成电路的等离子刻蚀领域;作为清洗气体,高纯六氟化硫可用于CVD工艺中,用于液晶显示制造领域。高纯六氟化硫还可以用作单模光纤隔离层掺添剂、准分子激光器气体材料、绝缘气体等。与高纯三硫化氮相比,高纯六氟化硫价格较低,可降低企业生产成本,在CVD等领域中应用需求正在快速增长。